Chombo hiki huchukua njia ya kipimo kisichoweza kuguswa, ya kuhama kwa awamu ya macho, haiharibu uso wa sehemu ya kazi wakati wa kipimo, inaweza kupima kwa haraka michoro ya pande tatu ya uso wa topografia ya sehemu mbalimbali za kazi, na kuchambua na kukokotoa kipimo. matokeo.
Maelezo ya Bidhaa
Makala: Yanafaa kwa ajili ya kupima ukali wa uso wa vitalu mbalimbali vya kupima na sehemu za macho; kina cha reticle ya mtawala na piga; unene wa mipako ya muundo wa groove ya grating na morpholojia ya muundo wa mpaka wa mipako; uso wa diski ya magnetic (macho) na kichwa cha magnetic kipimo cha Muundo; Ukwaru wa uso wa kaki ya silicon na kipimo cha muundo wa muundo, nk.
Kutokana na usahihi wa kipimo cha juu cha chombo, ina sifa ya kutowasiliana na kipimo cha tatu-dimensional, na inachukua udhibiti wa kompyuta na uchambuzi wa haraka na hesabu ya matokeo ya kipimo. Chombo hiki kinafaa kwa viwango vyote vya kupima na kupima vitengo vya utafiti, vyumba vya kupima biashara ya viwanda na madini, warsha za usindikaji wa usahihi, na pia zinafaa kwa Taasisi za elimu ya juu na taasisi za utafiti wa kisayansi, nk.
Vigezo kuu vya kiufundi
Kupima safu ya kina cha usawa wa uso kwa darubini
Juu ya uso unaoendelea, wakati hakuna urefu wa mabadiliko ya ghafla zaidi ya 1/4 urefu wa wimbi kati ya saizi mbili zilizo karibu: 1000-1nm
Wakati kuna mabadiliko ya urefu zaidi ya 1/4 ya urefu wa wimbi kati ya pikseli mbili zilizo karibu: 130-1nm
Kujirudia kwa kipimo: δRa ≤0.5nm
Ukuzaji wa lenzi ya lengo: 40X
Kipenyo cha nambari: Φ 65
Umbali wa kufanya kazi: 0.5 mm
Sehemu ya mwonekano wa chombo Kinachoonekana: Φ0.25mm
Picha: 0.13 × 0.13mm
Ukuzaji wa chombo Visual: 500×
Picha (inazingatiwa na skrini ya kompyuta) -2500×
Safu ya kipimo cha mpokeaji: 1000X1000
Ukubwa wa pikseli: 5.2×5.2µm
Muda wa kipimo cha sampuli (skanning) wakati: 1S
Mwakisi wa kioo wa kiwango cha chombo (juu): ~50%
Mwakisi (chini): ~4%
Chanzo cha taa: taa ya incandescent 6V 5W
Urefu wa urefu wa kichujio cha mwingiliano wa kijani: λ≒530nm
Nusu ya upana λ≒10nm
Kuinua kwa darubini kuu: 110 mm
Kuinua meza: 5 mm
Masafa ya harakati katika mwelekeo wa X na Y: ~10 mm
Mzunguko wa anuwai ya kazi: 360 °
Tilt mbalimbali ya meza ya kufanya kazi: ± 6°
Mfumo wa kompyuta: P4, 2.8G au zaidi, skrini bapa ya inchi 17 yenye kumbukumbu ya 1G au zaidi